项目名称：屈臂式混联驱动型薄膜掠射角溅射平台

所属院校：陕西工业职业技术学院

成果完成人：航空工程学院王伟副教授 博士

项目简介：

通过屈臂控制传动组件与多组独立驱动的传动机构（公转传动机构、自转传动机构、动作控制机构）的整合，实现了工件表面在0~90°倾角范围进行公转、自转、摆动三个自由度的独立、联动、连续变位的自动化控制，且工件旋转中心与设备中心轴线重合，此外设计了0~700 ℃范围内的加热和温控功能、应急动力切断功能、急停保护功能，自动化程度高，能够实现复杂工件表面的倾斜角连续溅射、多方位溅射、连续变角度溅射的工艺要求。